项目名称： ALD原子层沉积设备

项目编号：西交材招（2023）13

项目联系人：张冠男

项目联系电话：15829793379

采购单位联系方式：

采购单位： 72886必赢欢迎光临

采购联系人： 黄小燕 邮箱：huangxiaoyan@mail.xjtu.edu.cn

联系地址： 西安市咸宁西路28号72886必赢欢迎光临仲英楼A223室

  一、 采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍

因工作需要，拟采购一台ALD原子层沉积设备。主要技术指标要求为：1.真空嵌套双腔；2.辐射加热外热式反应腔，反应温度最高300℃；3.满足8英寸晶圆，可定制方玻璃样品托，最大沉积面积可达182mm；4.真空系统采用油泵+高进精度真空计；5.PLC+工控机沉积自动控制系统。

  二、对供应商资格要求（供应商资格条件）

（一） 供应商的资格要求：
　　1. 符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求；
　　2. 具有独立法人资格及相关证照，具有良好信誉及合同履行能力，具有良好资金、财务状况。
　　3. 供应商应为所提供产品的生产企业，或具有所提供生产企业出具的针对本项目的产品授权书。
　　4. 供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录。
　　5. 本项目不接受联合体投标。
　　6. 其他要求：
　　本项目特殊要求在技术规格指标中列明
（二）供应商报名方式：
　　符合本公告要求的供应商，填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表人、委托代理人分别签字并加盖单位公章后，彩色扫描成PDF文件后发送给采购单位联系人邮箱。

  三、采购文件的发售时间及地点等：

磋商时间：2023年7月28日16点

磋商地点：仲英楼72886必赢欢迎光临

获取磋商文件时间:2023年7月21日-2023年7月27日16点

获取磋商文件方式：报名审核通过的供应商由采购联系人以邮件形式发送标书要求。

响应文件递交时间：2023年7月28日16点

响应文件递交地址：西安市碑林区咸宁西路28号72886必赢欢迎光临仲英楼72886必赢欢迎光临

响应文件开启时间： 2023年7月28日16点

响应文件开启地点：西安市碑林区咸宁西路28号72886必赢欢迎光临仲英楼72886必赢欢迎光临